filtra të gazit gjysmëpërçues

Pse nevojitet përdorimi i filtrave të gazit në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve? 

Filtrat e gazit janë thelbësorë në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve për disa arsye kritike:

1. Largimi i ndotësve

Fabrikimi i gjysmëpërçuesve përfshin procese të shumta të ndjeshme ku edhe ndotësit më të vegjël,

të tilla si grimcat e pluhurit, lagështia ose mbetjet kimike, mund të kenë efekte të dëmshme. Hiqen filtrat e gazit

grimcat, papastërtitë dhe ndotësit e ajrit nga gazrat e procesit, duke siguruar një mjedis të pastër

dhe ruajtja e integritetit të vaferave gjysmëpërçuese.

2. Ruajtja e standardeve ultra të pastërtisë

Industria e gjysmëpërçuesve kërkon nivele jashtëzakonisht të larta pastërtie në gazrat e përdorur, siç mund të bëjnë papastërtitë

çojnë në defekte në pajisjet gjysmëpërçuese. Filtrat e gazit ndihmojnë në arritjen e cilësisë së gazit ultra të pastër, duke parandaluar

kontaminimin dhe sigurimin e qëndrueshmërisë dhe besueshmërisë së produkteve.

3. Pajisjet Mbrojtëse

Ndotësit në gazra jo vetëm që mund të dëmtojnë vaferat gjysmëpërçuese, por edhe të dëmtojnë ato të ndjeshme

pajisjet e përdorura në procesin e prodhimit, të tilla si reaktorët e depozitimit të avullit kimik (CVD) dhe

sistemet e gravurës. Filtrat e gazit mbrojnë këto makina të shtrenjta nga dëmtimi, duke reduktuar rrezikun e

kohë joproduktive dhe riparime të kushtueshme.

4. Parandalimi i humbjes së rendimentit

Rendimenti është thelbësor në prodhimin e gjysmëpërçuesve, ku defektet mund të shkaktojnë humbje të konsiderueshme në prodhim.

Edhe një grimcë e vetme ose papastërti kimike mund të rezultojë në humbje të rendimentit, duke ndikuar në produktivitetin dhe përfitimin.

Filtrat e gazit sigurojnë që gazrat e procesit të jenë të pastër, duke minimizuar ndotjen dhe duke reduktuar humbjen e rendimentit.

5. Sigurimi i cilësisë së produktit

Konsistenca dhe cilësia janë parësore në prodhimin e gjysmëpërçuesve. Gazet e kontaminuara mund të krijojnë

mospërputhjet, duke çuar në pajisje gjysmëpërçuese jo të besueshme. Duke përdorur filtra gazi, prodhuesit mund

garantojnë që çdo grup plotëson standardet e rrepta të cilësisë së kërkuar, duke çuar në pajisje më të larta

performancës dhe jetëgjatësisë.

6. Reduktimi i kohëzgjatjes së ndërprerjes

Ndotësit në gazrat e procesit mund të shkaktojnë dështim të pajisjeve, duke kërkuar mirëmbajtje ose zëvendësim.

Duke përdorur filtrat e gazit, prodhuesit mund të reduktojnë kohën e papritur të ndërprerjes, të ruajnë efikasitetin operacional dhe

zgjasin jetëgjatësinë e pajisjeve kritike.

7. Përputhshmëria kimike

Shumë nga gazrat e përdorur në proceset gjysmëpërçuese janë shumë reaktive ose gërryese. Filtrat e gazit janë

projektuar për t'i bërë ballë këtyre mjediseve të ashpra kimike duke filtruar në mënyrë efektive papastërtitë, duke siguruar

përpunimi i sigurt dhe efektiv.

Në përgjithësi, filtrat e gazit janë jetik për ruajtjen e pastërtisë, besueshmërisë dhe sigurisë së gjysmëpërçuesit

procesi i prodhimit, duke ndihmuar në arritjen e produkteve gjysmëpërçuese me cilësi të lartë, pa defekte ndërsa

gjithashtu duke mbrojtur pajisjet e vlefshme.

Llojet e filtrave të gazit në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve

Në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve, lloje të ndryshme të filtrave të gazit përdoren për të adresuar të ndryshme

fazat dhe sfidat që lidhen me pastërtinë e gazit dhe mbrojtjen e pajisjeve.

Llojet e filtrave të gazit që përdoren zakonisht përfshijnë:

1. Filtrat e grimcave

*Qëllimi: Për të hequr grimcat, pluhurin dhe ndotësit e tjerë të ngurtë nga gazrat e procesit.

*Përdorimi: Shpesh instalohet në faza të ndryshme për të mbrojtur vaferat, dhomat e procesit dhe pajisjet nga ndotja e grimcave.

* Materialet: Zakonisht bëhet nga çelik inox i sinterizuar, PTFE ose materiale të tjera që sigurojnë qëndrueshmëri dhe përputhshmëri kimike.

2. Filtrat molekularë ose kimikë (filtra Getter)

*Qëllimi: Për të hequr ndotësit specifikë molekularë, të tillë si lagështia, oksigjeni ose komponimet organike, që mund të jenë të pranishme në gazrat e procesit.

*Përdorimi: Përdoret kur kërkohet gaz me pastërti të lartë, si p.sh. gjatë proceseve të depozitimit ose gdhendjes.

* Materialet: Shpesh ndërtohet duke përdorur qymyr të aktivizuar, zeolit ​​ose materiale të tjera adsorbuese të projektuara posaçërisht për të kapur papastërtitë molekulare.

3. Filtra gazi me pastërti të lartë

*Qëllimi: Për të arritur standardet e gazit me pastërti ultra të lartë (UHP), e cila është kritike për proceset gjysmëpërçuese ku papastërtia më e vogël mund të ndikojë në cilësinë e produktit.

*Përdorimi: Këta filtra përdoren në procese si Depozitimi Kimik i Avullit (CVD) dhe Gravimi i Plazmës, ku papastërtitë mund të shkaktojnë defekte serioze.

* Materialet: Bërë nga çelik inox me membrana të specializuara për të ruajtur integritetin në presion të lartë dhe kushte ekstreme.

4. Filtrat e gazit me shumicë

*Qëllimi: Për të pastruar gazrat në pikën e hyrjes ose përpara shpërndarjes në linjat e prodhimit.

*Përdorimi: Pozicionohet në rrjedhën e sipërme në sistemin e shpërndarjes së gazit për të filtruar gazrat me shumicë përpara se të furnizohen me vegla ose reaktorë individualë.

* Materialet: Këta filtra shpesh kanë një kapacitet të lartë për trajtimin e vëllimeve të mëdha të gazrave.

5. Filtrat e gazit në pikën e përdorimit (POU).

*Qëllimi: Për të siguruar që gazrat e dorëzuara në çdo mjet specifik përpunimi të jenë të lirë nga çdo ndotës.

*Përdorimi: Instalohet pak përpara futjes së gazrave në pajisjet e procesit, të tilla si dhomat e gdhendjes ose depozitimit.

* Materialet: Bërë nga materiale të përputhshme me gazrat reaktivë të përdorur në proceset gjysmëpërçuese, si metali i sinteruar ose PTFE.

6. Filtrat e gazit në linjë

*Qëllimi: Për të siguruar filtrim inline për gazrat që lëvizin nëpër sistemin e shpërndarjes.

*Përdorimi: Instaluar brenda linjave të gazit në pikat kyçe, duke siguruar filtrim të vazhdueshëm në të gjithë sistemin.

* Materialet: Çelik inox ose nikel i sinterizuar për të siguruar përputhshmëri kimike me gazrat.

7. Filtrat e gazit të montimit sipërfaqësor

*Qëllimi: Për t'u montuar drejtpërdrejt në komponentët e panelit të gazit për të hequr grimcat dhe ndotësit molekularë.

*Përdorimi: Të zakonshme në hapësira të ngushta, këta filtra ofrojnë filtrim efikas në pikën e përdorimit në aplikime kritike.

* Materialet: Çelik inox me pastërti të lartë për qëndrueshmëri dhe pajtueshmëri me gazrat e prodhimit gjysmëpërçues.

8. Filtrat nën-mikron

*Qëllimi: Për të filtruar grimcat jashtëzakonisht të vogla, shpesh të vogla sa përmasat nën mikron, të cilat ende mund të shkaktojnë defekte të rëndësishme në proceset gjysmëpërçuese.

*Përdorimi: Përdoret në procese që kërkojnë nivelin më të lartë të filtrimit për të ruajtur furnizimin me gaz ultra të pastër, siç është fotolitografia.

* Materialet: Materiale metalike ose qeramike të sinteruara me densitet të lartë që mund të bllokojnë në mënyrë efektive edhe grimcat më të vogla.

9. Filtrat e karbonit të aktivizuar

*Qëllimi: Për të hequr ndotësit organikë dhe gazrat e avullueshëm.

*Përdorimi: Përdoret në aplikime ku duhen hequr papastërtitë e gazta për të parandaluar kontaminimin e vaferës ose shqetësimet e reagimit.

* Materialet: Materialet e karbonit të aktivizuar të dizajnuara për të absorbuar molekulat organike.

10.Filtra gazi metalik të sinterizuar

*Qëllimi: Për të hequr grimcat dhe papastërtitë në mënyrë efektive duke ofruar forcë strukturore dhe rezistencë ndaj presionit të lartë.

*Përdorimi: Përdoret gjerësisht në faza të shumta të procesit gjysmëpërçues ku nevojitet filtrim i fortë.

* Materialet: Zakonisht bëhet prej çeliku inox të sinterizuar ose lidhjeve të tjera metalike për t'i bërë ballë mjediseve të ashpra dhe kimikateve.

11.Filtrat hidrofobikë të gazit

*Qëllimi: Për të parandaluar hyrjen e lagështirës ose avullit të ujit në rrjedhën e gazit, gjë që është kritike në disa procese që janë të ndjeshme edhe ndaj sasive të vogla të lagështisë.

*Përdorimi: Përdoret shpesh në procese si tharja e vaferës ose gravurja e plazmës.

* Materialet: Membranat hidrofobike, të tilla si PTFE, për të siguruar që gazrat të mbeten pa ndotje nga lagështia.

Këto lloje të ndryshme të filtrave të gazit janë zgjedhur me kujdes bazuar në vetitë e tyre specifike, përputhshmërinë e materialit dhe përshtatshmërinë për kushtet unike të proceseve të prodhimit të gjysmëpërçuesve. Kombinimi i duhur i filtrave është thelbësor për ruajtjen e nivelit më të lartë të pastërtisë së gazit, sigurimin e stabilitetit të procesit dhe parandalimin e defekteve në pajisjet gjysmëpërçuese.

Disa pyetje të shpeshta në lidhje me filtrat e gazit gjysmëpërçues

FAQ 1:

Cilat janë filtrat e gazit gjysmëpërçues dhe pse janë të rëndësishëm?

Filtrat e gazit gjysmëpërçues janë komponentë kritikë në procesin e prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Ato janë krijuar për të hequr papastërtitë dhe ndotësit nga gazrat e procesit, si p.shoksigjen,

azotit, hidrogjenit dhe gazeve të ndryshme kimike.

Këto papastërti mund të ndikojnë ndjeshëm në cilësinë, rendimentin dhe besueshmërinë e pajisjeve gjysmëpërçuese.

Duke filtruar në mënyrë efektive rrjedhat e gazit, filtrat e gazit gjysmëpërçues ndihmojnë në:

1. Ruani pastërtinë e lartë:

Sigurohuni që gazrat e përdorur në procesin e prodhimit të jenë pa ndotës që mund të degradojnë performancën e pajisjes.

2. Parandaloni dëmtimin e pajisjeve:

Mbroni pajisjet gjysmëpërçuese të ndjeshme nga ndotja e grimcave dhe kimike, të cilat mund të çojnë në ndërprerje dhe riparime të kushtueshme.

3. Përmirësoni rendimentin e produktit:

Zvogëloni defektet dhe dështimet e shkaktuara nga papastërtitë e shkaktuara nga gazi, duke rezultuar në rendimente më të larta të prodhimit.

4. Rritja e besueshmërisë së pajisjes:

Minimizoni degradimin afatgjatë të pajisjeve gjysmëpërçuese për shkak të çështjeve të lidhura me ndotjen.

Pyetjet e shpeshta 2:

Cilat janë llojet e zakonshme të filtrave të gazit gjysmëpërçues?

Disa lloje të filtrave të gazit përdoren në prodhimin e gjysmëpërçuesve, secili i projektuar për t'u hequr

lloje të veçanta të ndotësve.

Llojet më të zakonshme përfshijnë:

1. Filtrat e grimcave:

Këta filtra largojnë grimcat e ngurta, të tilla si pluhuri, fibrat dhe grimcat metalike, nga rrjedhat e gazit.

Ato janë bërë zakonisht nga materiale si filtra metali të sinteruar, qeramikë ose membranë.

2. Filtrat kimikë:

Këta filtra largojnë papastërtitë kimike, si avujt e ujit, hidrokarburet dhe gazrat gërryes.

Ato shpesh bazohen në parimet e përthithjes ose thithjes, duke përdorur materiale si karboni i aktivizuar,

sita molekulare, ose sorbentë kimikë.

3.Filtra të kombinuar:

Këta filtra kombinojnë aftësitë e filtrave të grimcave dhe kimike për të hequr të dy llojet e

ndotësve. Ato përdoren shpesh në aplikime kritike ku pastërtia e lartë është thelbësore.

FAQ 3:

Si zgjidhen dhe projektohen filtrat e gazit gjysmëpërçues?

Përzgjedhja dhe dizajni i filtrave të gazit gjysmëpërçues përfshin disa faktorë, duke përfshirë:

* Kërkesat për pastërtinë e gazit:

Niveli i dëshiruar i pastërtisë për rrjedhën specifike të gazit përcakton efikasitetin dhe kapacitetin e filtrimit të filtrit.

* Shkalla e rrjedhjes dhe presioni:

Vëllimi i gazit që do të filtrohet dhe presioni i funksionimit ndikojnë në madhësinë, materialin dhe konfigurimin e filtrit.

* Lloji dhe përqendrimi i ndotësit:

Llojet specifike të ndotësve të pranishëm në rrjedhën e gazit diktojnë zgjedhjen e mediave të filtrit dhe madhësisë së poreve të tij.

*Temperatura dhe lagështia:

Kushtet e funksionimit mund të ndikojnë në performancën dhe jetëgjatësinë e filtrit.

* Kostoja dhe mirëmbajtja:

Duhet të merren parasysh kostoja fillestare e filtrit dhe kërkesat e tij për mirëmbajtjen e vazhdueshme.

Duke i konsideruar me kujdes këta faktorë, inxhinierët mund të zgjedhin dhe dizajnojnë filtra gazi që plotësojnë specifikat

nevojat e një procesi të prodhimit të gjysmëpërçuesve.

Sa shpesh duhet të zëvendësohen filtrat e gazit në prodhimin e gjysmëpërçuesve?

Frekuenca e zëvendësimit të filtrave të gazit në prodhimin e gjysmëpërçuesve varet nga disa faktorë, duke përfshirë llojin e

procesi, niveli i ndotësve dhe lloji specifik i filtrit që përdoret. Në mënyrë tipike, filtrat e gazit zëvendësohen rregullisht

orari i mirëmbajtjes për të parandaluar çdo rrezik kontaminimi,shpesh çdo 6 deri në 12 muaj, në varësi të kushteve të përdorimit

dhe rekomandimet nga prodhuesi i filtrit.

Megjithatë, oraret e zëvendësimit mund të ndryshojnë shumë bazuar në mjedisin e funksionimit. Për shembull:

*Proceset me ndotje të lartë:

Filtrat mund të kenë nevojë të zëvendësohen më shpesh nëse janë të ekspozuar ndaj niveleve të larta të

ndotje me grimca ose molekulare.

*Zbatime kritike:

Në proceset që kërkojnë pastërti jashtëzakonisht të lartë (p.sh. fotolitografia), filtrat shpesh zëvendësohen

paraprakisht për të siguruar që cilësia e gazit të mos cenohet.

Monitorimi i presionit diferencial nëpër filtër është një metodë e zakonshme për të përcaktuar se kur një filtër duhet të zëvendësohet.

Ndërsa ndotësit grumbullohen, rënia e presionit nëpër filtër rritet, duke treguar një ulje të efikasitetit.

Është thelbësore të zëvendësohen filtrat përpara se efikasiteti i tyre të bjerë, pasi çdo shkelje e pastërtisë së gazit mund të shkaktojë defekte të rëndësishme,

zvogëlojnë rendimentin dhe madje çojnë në dëmtimin e pajisjeve.

Nga çfarë materialesh janë bërë filtrat e gazit për aplikime gjysmëpërçuese?

Filtrat e gazit të përdorur në aplikimet gjysmëpërçuese janë bërë nga materiale që mund të mbajnë standardet më të larta të pastërtisë

dhe t'i rezistojë mjediseve të ashpra që gjenden në prodhim. Materialet e zakonshme përfshijnë:

*Çeliku inox (316L): Materiali më i përdorur për shkak të rezistencës kimike, forcës mekanike dhe

aftësia për t'u fabrikuar me madhësi të sakta të poreve duke përdorur teknologjinë e sinterimit. Është i përshtatshëm për filtrimin e të dyjave reaktive

dhe gazet inerte.

*PTFE (politetrafluoroetilen): PTFE është një material kimikisht inert që përdoret për filtrimin shumë reaktiv ose gërryes

gazrat. Ka përputhshmëri të shkëlqyer kimike dhe veti hidrofobike, duke e bërë atë ideal për të ndjeshme ndaj lagështirës

proceset.

*Nikeli dhe Hastelloi:

Këto materiale përdoren për aplikime në temperatura të larta ose për procese që përfshijnë kimikate agresive

ku çeliku inox mund të degradohet.

*Qeramike:

Filtrat qeramikë përdoren për aplikime ku kërkohet rezistencë ekstreme ndaj temperaturës, ose për nën-mikron

filtrimi i grimcave.

Zgjedhja e materialit varet nga lloji i gazit, prania e specieve reaktive, temperatura dhe

parametrat e tjerë të procesit. Materialet duhet të jenë jo-reaktive për t'u siguruar që nuk sjellin papastërti

ose grimcat në proces, duke ruajtur kështu nivelet e pastërtisë së gazit të kërkuar për fabrikimin e gjysmëpërçuesve.

Cili është roli i filtrave të pikës së përdorimit (POU) në prodhimin e gjysmëpërçuesve?

Filtrat e pikës së përdorimit (POU) janë thelbësore në prodhimin e gjysmëpërçuesve, pasi ato sigurojnë që gazrat të pastrohen menjëherë përpara

duke hyrë në mjetet e procesit. Këta filtra ofrojnë një mbrojtje përfundimtare kundër ndotësve që mund të kenë hyrë në rrjedhën e gazit

gjatë ruajtjes, transportit ose shpërndarjes, duke rritur kështu stabilitetin e procesit dhe cilësinë e produktit.

Përfitimet kryesore të filtrave POU:

*Pozicionuar afër pajisjeve kritike (p.sh. dhomat e gdhendjes ose depozitimit) për të parandaluar ndotjen që të arrijë në vafer.

*Hiqni papastërtitë si grimcat ashtu edhe ato molekulare që mund të futen nga sistemi i trajtimit të gazit ose ekspozimi mjedisor.

*Sigurohuni që cilësia më e lartë e mundshme e gazit t'i dërgohet mjetit të procesit, duke mbrojtur pajisjet dhe duke rritur cilësinë e pajisjeve të prodhuara.

*Zvogëloni ndryshueshmërinë e procesit, rrisni rendimentin dhe ulni nivelet e defektit.

*I domosdoshëm në mjediset e avancuara gjysmëpërçuese ku edhe papastërtitë e vogla mund të ndikojnë ndjeshëm në produktivitetin dhe besueshmërinë e produktit.

Si parandalojnë filtrat e gazit ndërprerjen e pajisjeve në proceset gjysmëpërçuese?

Filtrat e gazit parandalojnë ndërprerjen e pajisjeve në proceset gjysmëpërçuese duke siguruar që gazrat e procesit të jenë vazhdimisht pa

ndotës që mund të shkaktojnë dëme në pajisjet e prodhimit. Fabrikimi gjysmëpërçues përfshin përdorimin e shumë

pajisje të ndjeshme, duke përfshirë dhomat e depozitimit, makinat e gravurës së plazmës dhe sistemet fotolitografike.

Nëse ndotës të tillë si pluhuri, lagështia ose papastërtitë reaktive hyjnë në këto makina, ato mund të shkaktojnë një sërë problemesh,

nga bllokimi i valvulave dhe grykave deri tek dëmtimi i sipërfaqeve të vaferës ose pjesëve të brendshme të reaktorit.

Duke përdorur filtra gazi me cilësi të lartë, prodhuesit parandalojnë futjen e këtyre ndotësve, duke reduktuar gjasat e

mirëmbajtje të paplanifikuar dhe prishje të pajisjeve. Kjo ndihmon në ruajtjen e orareve të qëndrueshme të prodhimit, duke minimizuar

kohë joproduktive të kushtueshme dhe shmangien e shpenzimeve të rëndësishme që lidhen me riparimet ose zëvendësimet.

Përveç kësaj, filtrat e mirëmbajtur ndihmojnë në zgjatjen e jetëgjatësisë së komponentëve kryesorë, të tillë si kontrollorët e rrjedhës, valvulat dhe reaktorët,

duke rritur kështu efikasitetin dhe përfitimin e përgjithshëm të procesit të prodhimit.

Pra, pas kontrolloni disa detaje në lidhje me filtrat e gazit gjysmëpërçues, nëse ende keni disa pyetje të tjera.

Gati për të optimizuar procesin tuaj të prodhimit të gjysmëpërçuesve me zgjidhje të filtrimit të gazit me cilësi të lartë?

Kontaktoni HENGKO sot për udhëzime të ekspertëve dhe zgjidhje të personalizuara për të përmbushur nevojat tuaja.

Pasi keni kontrolluar disa detaje informacione rreth filtrit të gazit gjysmëpërçues, nëse keni më shumë pyetje?

Gati për të optimizuar procesin tuaj të prodhimit të gjysmëpërçuesve me zgjidhje të filtrimit të gazit me cilësi të lartë?

Kontaktoni HENGKO sot për udhëzime të ekspertëve dhe zgjidhje të personalizuara për të përmbushur nevojat tuaja.

Na dërgoni email nëka@hengko.compër më shumë informacion.

Ekipi ynë është këtu për t'ju ndihmuar të përmirësoni efikasitetin e prodhimit dhe cilësinë e produktit.