Filtra të Avancuar C-Seal të Montuar në Sipërfaqe IGS për Sisteme Gazi Gjysmëpërçues Ultra të Pastër
Përshkrimi
Filtrat e Montimit Sipërfaqësor HENGKO janë projektuar për të përmbushur kërkesat e larta të sistemeve të integruara të gazit të përdorura në mjetet OEM gjysmëpërçuese. Duke ofruar filtrim lider në industri në 0.003 µm, këto filtra sigurojnë performancë dhe besueshmëri të jashtëzakonshme me një efikasitet të kapjes së grimcave prej ≥99.9999999% (9-LRV) në 120 slpm.
Të ndërtuara nga çelik inox 316L i fortë i sinteruar me pluhur për elementin dhe strehimin e filtrit, këto filtra janë në përputhje me specifikimet SEMI F86-0304, duke paraqitur komponentë me dy porta të përshtatura për sistemet e shpërndarjes së gazit 1.125” me një konfigurim C-seal. Ato mbështesin presionin maksimal të hyrjes prej 3.4 MPa në 100°C dhe një diferencial maksimal të presionit të funksionimit prej 0.69 MPa në 100°C.
Këto filtra të specializuar, të pajtueshëm me specifikimet e guarnicioneve të tipit C dhe W, arrijnë pastërti në rrjedhën e poshtme me çlirimin e grimcave të
Me një sipërfaqe të përfunduar prej Ra< 1.6 µm në pjesën e jashtme dhe RaMe < 0.13 µm në pjesën e brendshme, ato janë projektuar për t'i bërë ballë temperaturave të larta deri në 460°C. Të projektuara për integrim të lehtë dhe përmirësime të dizajnit modular, këto filtra thjeshtojnë instalimin dhe mirëmbajtjen, duke ndihmuar në optimizimin e performancës së sistemit në aplikacionet e shpërndarjes dhe kontrollit të gazit gjysmëpërçues.
Karakteristika e produktit
▶ Ndërtim i përgjithshëm prej çeliku inox 316L
▶ Dizajn i miniaturizuar, strukturë kompakte, kursim hapësire
▶ Karakteristika të shkëlqyera të zëvendësimit dhe desorbimit të gazit
▶ Rezistent ndaj temperaturës së lartë, presionit të lartë dhe korrozionit
▶ Strehë çeliku inox 316L e elektro-lëmuar
▶ Instalim dhe mirëmbajtje e lehtë dhe efikase
▶ Vulosje mekanike, strukturalisht e pa salduar në mjedis
![]()
Fletë të dhënash
| Parametrat Teknikë | Vlerat |
|---|---|
| Materiali i Elementit të Filtrit | Pluhur i sinterizuar prej çeliku inox 316L |
| Materiali i strehimit | Çelik inox 316L |
| Presioni maksimal i hyrjes | 3.4 MPa @ 100°C |
| Diferenca Maksimale e Operacionit | 0.69 MPa @ 100°C |
| Shkalla e rrjedhjes së verifikimit të heliumit | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Shkalla e rrjedhjes së testit të heliumit | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Trajtimi sipërfaqësor | Sipërfaqja e Jashtme Ra< 1.6 μm |
| Sipërfaqja e brendshme Ra< 0.13 μm | |
| Temperatura Maksimale e Funksionimit | 460°C |
| Efikasiteti i Kapjes së Grimcave | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (MPPS Referuese, të gjitha grimcat) |
| Pastërtia e rrjedhës së poshtme | Lëshimi i grimcave:< 0.03 grimca/litër (< 1 grimcë/ft³) |
| Lëndë të paqëndrueshme:< 10 ppb lagështi | |
| Madhësia e Kapjes së Grimcave | ≥0.003 μm |
| Diapazoni i rrjedhjes | 0 ~ 120 slpm |
Madhësia

Ja numri i pjesës që mund të porosisni dhe detajet e madhësisë:
| Modeli i produktit | Shkalla e rrjedhjes | Lartësia H (mm) | Precizioni i Filtrimit | Niveli i Pastrimit |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Aplikime tipike
Për përdorim me W-seal dhe C-seal, sisteme modulare të shpërndarjes së gazit me montim në sipërfaqe 1.125” dhe 1.5”.
![]()
Dërgoni mesazhin tuaj tek ne:





